国家/地区 中国(8)
IPC部 C(6) H(4)
IPC大类 H01(4) C01(3) C04(2)
IPC小类 C01B(3) C04B(2) H01L(2)
IPC C01B032/184(2) C01B032/194(2) H01L031/0224(2)
H01L031/18(2)
发明人 TAN X(8)
公开年 2020(8)
申请年 2020(5)  2019(3) 
专利权人 SAURER JIANG.(2)