国家/地区 中国(4)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L029/78(2)
发明人 TANG Z(4)
公开年 2012(4)
申请年 2012(3) 
专利权人 BEIJING ZHON.(2)