国家/地区 日本(4)
IPC部 H(4)
IPC大类 H01(4)
IPC小类 H01L(4)
IPC H01L029/786(4) H01L021/28(3) H01L021/336(3)
H01L029/06(2)
发明人 TATENO Y(4)
公开年 2017(3)
申请年 2016(4)
专利权人 SUMITOMO ELE.(4) UNIV TOHOKU(4)