国家/地区 日本(4) 美国(4)
IPC部 H(4) C(3) B(2)
IPC大类 H01(4) C01(3) B32(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(3) B32B(2)
IPC H01L021/02(4) H01L021/336(4) H01L029/16(4)
H01L029/786(4) C01B032/15(3) C01B032/18(3)
C01B032/182(3) H01L051/05(3) H01L051/30(3)
B32B009/00(2) H01L029/66(2)
发明人 TATENO Y(4)
公开年 2017(3)
申请年 2017(4)
专利权人 SUMITOMO ELE.(4) UNIV TOHOKU(3)