国家/地区 中国(9)
IPC部 B(4) H(3) C(2)
G(2)
IPC大类 B82(4) H01(3) G01(2)
IPC小类 B82Y(4) H01L(2)
IPC B82Y030/00(4) B82Y010/00(2) H01L051/05(2)
H01L051/40(2)
发明人 TIAN J(9)
公开年 2019(9)
申请年 2019(9) 
专利权人 WUHAN INST T.(2)