国家/地区 中国(5)
IPC部 C(4) H(2)
IPC大类 C01(2) C30(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) C30B(2) H01L(2)
IPC
发明人 WANG H(5)
公开年 2015(5)
申请年 2015(4) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)