国家/地区 中国(4) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(3)
IPC大类 H01(3)
IPC小类 H01L(3)
IPC H01L021/336(2) H01L029/06(2) H01L029/78(2)
发明人 WANG W(4)
公开年 2012(2)
申请年 2010(2) 
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(4)