| 国家/地区 | 中国(4) |
| IPC部 | C(3) H(3) |
| IPC大类 | C01(3) H01(3) |
| IPC小类 | C01B(3) H01L(2) |
| IPC | H01L021/02(2) |
| 发明人 |
WANG W(4)
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| 公开年 | 2014(2) |
| 申请年 | 2013(2) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)
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WANG W, XIAO X, JIANG C, WANG H
LI T, LIANG C, WANG W, WANG Y
