国家/地区 中国(4)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC H01L021/02(2)
发明人 WANG W(4)
公开年 2014(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)