国家/地区 美国(6)
IPC部 H(4) C(2) G(2)
IPC大类 H01(4) C23(2)
IPC小类 H01L(3) C23C(2)
IPC
发明人 XU S(6)
公开年 2017(2)
申请年 2016(3)  2020(2) 
专利权人