| 国家/地区 |
美国(6)
|
| IPC部 |
H(4)
C(2)
G(2)
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| IPC大类 | H01(4) C23(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C23C(2) |
| IPC | |
| 发明人 |
XU S(6)
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| 公开年 | 2017(2) |
| 申请年 | 2016(3) 2020(2) |
| 专利权人 |
ZHENG Z, XU S, GEDIK N, MA Q, JARILLOHERRERO P
CHOU P, YU C, HSU S, CHEN W, ZHOU B, YU J, XU S
XU S, TANG W, CHEN X, KE C, BIRBILIS N, JIANG H, ZHANG P, BOBILLIS N
XU S, ZHAN J, WANG J, ZHOU Y
CHEN Z, HAO Y, ZHANG J, LV J, XU S, NING J, REN Z, WANG D, LIN Z
