国家/地区 中国(8) 美国(3)
IPC部 H(7) B(4) G(4)
C(3)
IPC大类 H01(7) G01(4) B01(2)
C02(2)
IPC小类 G01N(4) H01L(3) B01J(2)
C02F(2) H01B(2) H01M(2)
IPC G01N021/552(3) H01L021/02(3) H01L021/04(3)
B01J020/30(2) C02F001/28(2) H01L021/56(2)
发明人 YAN H(11)
公开年 2016(11)
申请年 2016(8)  2015(3) 
专利权人 INT BUSINESS.(3)