国家/地区 中国(5) 美国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 H(5)
IPC大类 H01(4)
IPC小类 H01L(4)
IPC H01L021/336(3) H01L029/06(3) H01L029/78(3)
发明人 YE T(5)
公开年 2013(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(5)