国家/地区 台湾(3) 美国(3) 中国(2)
IPC部 B(3) C(3) H(2)
IPC大类 B82(2) C01(2) H01(2)
IPC小类 B82Y(2) C01B(2) H01L(2)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/182(2)
H01L021/02(2) H01L021/04(2) H01L021/335(2)
H01L021/78(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2)
H01L029/417(2) H01L029/423(2) H01L029/66(2)
H01L029/76(2) H01L029/772(2) H01L029/786(2)
发明人 ZHANG T(4)
公开年 2022(3)
申请年 2021(4)
专利权人 UNIV TSINGHUA(4)