国家/地区 中国(23)
IPC部 C(10) H(5) B(4)
D(3) G(3)
IPC大类 H01(5) B01(3) C01(3)
C30(3) D01(3) C08(2)
C23(2) G02(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(3) C30B(3)
D01D(3) D01F(3) B01D(2)
C23C(2) G02B(2) G02F(2)
IPC C01B031/04(3) D01D005/06(3) C30B007/10(2)
D01F009/12(2) G02F001/01(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人 ZHAO C(23)
公开年 2016(23)
申请年 2015(12)  2016(11) 
专利权人 UNIV SHAANXI.(4) UNIV EAST CH.(3) INST MICROEL.(2) NANJING COLL.(2)
RES CENT ECO.(2) UNIV NORTHWE.(2) UNIV XIAN JI.(2)