国家/地区 中国(4)
IPC部 H(4)
IPC大类 H01(4)
IPC小类 H01L(3)
IPC H01L031/18(3) H01L031/0216(2)
发明人 ZHOU D(4)
公开年 2019(4)
申请年 2019(4) 
专利权人 CHINESE ACAD.(2)