| 国家/地区 | 日本(4) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) |
| IPC部 |
B(5)
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| IPC大类 |
B32(5)
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| IPC小类 |
B32B(5)
C01B(5)
C23C(4)
H01L(2) |
| IPC |
B32B009/00(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2017(5)
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| 申请年 | 2016(4) |
| 专利权人 |
PARK H G, HEIGHT M, CHOI K, PARK H
JOHNSON B Y, LIU X, MAZUMDER P
AOTA NATSUKO, AIDA HIDEO, TACHIBANA MASARU, MORISAKO SHIYO, AOTA N, AIDA H, TACHIBANA M, MORISAKO S
