国家/地区 | 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B82(4)![]() |
IPC小类 |
B82Y(4)
C23C(4)
B82B(3)
C01B(3) H01L(3) B32B(2) |
IPC |
B82Y010/00(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2012(2) 2013(2) |
申请年 |
2012(4)![]() |
专利权人 |
HAQUE S M, WHITE R, BOWER C, HAQUE S
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S
CHOI B, LEE E, WHANG D, CHOI B L, LEE E K, WHANG D M, CHOE P, HWANG T