国家/地区 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4)
IPC小类 B82Y(4) C23C(4) B82B(3)
C01B(3) H01L(3) B32B(2)
IPC B82Y010/00(4)
发明人
公开年 2012(2) 2013(2)
申请年 2012(4)
专利权人