| 国家/地区 | 美国(7) 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(4) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 澳大利亚(2) 加拿大(2) |
| IPC部 |
B(7)
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| IPC大类 |
C01(7)
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| IPC小类 |
C01B(7)
C30B(7)
B82Y(6)
B32B(5) H01L(3) B81C(2) C23C(2) |
| IPC |
C01B031/00(7)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2009(2) |
| 申请年 | 2008(2) |
| 专利权人 |
SWETT J L, BEDWORTH P V, HEISE S E, SINTON S W, SIMON S M, BULLOCK S E, LIU H, SINSABAUGH S L
BOZALINA M, PERRET P, NAZARPOUR S, NAZARPOUR S S N
IACOPI F, AHMED M, CUNNING B V
HASEGAWA MASATAKA, ISHIHARA MASATOU, KOGA YOSHINORI, KIM JAEHO, TSUGAWA KAZUO, IIJIMA SUMIO, HASEGAWA M, ISHIHARA M, KOGA Y, KIM J, TSUGAWA K, IIJIMA S, YOSHINORI K, HO K J, KAZUO T, SUMIO I, MASATAKA H, MASATOU I, JAEHO K
CHOI J Y, SHIN H J, YOON S M, CHOI J, SHIN H, YOON S
