国家/地区 韩国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10) B82(8) H01(7)
C09(2)
IPC小类 C01B(10)
IPC C01B031/00(10)
发明人 HIROHASHI T(2)
公开年 2012(10)
申请年 2011(5)  2012(5) 
专利权人 KOREA INST S.(2) SEMICONDUCTO.(2)