国家/地区 美国(16)
IPC部 C(16)
IPC大类 C01(16) B82(14) H01(14)
B01(5) B32(5) C09(3)
B05(2) H05(2)
IPC小类 C01B(16)
IPC C01B031/00(16)
发明人 HIROHASHI T(2)
公开年 2012(16)
申请年 2012(10)  2011(6) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2) SEMICONDUCTO.(2)