国家/地区 日本(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C01B032/16(10)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2015(2) 2021(2)
申请年 2014(3)  2018(2) 
专利权人 AIXTRON SE(2)