国家/地区 日本(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10) B82(6) H01(5)
C23(3) B01(2) B60(2)
C25(2) D01(2) G01(2)
IPC小类 C01B(10) B82Y(6) H01M(4)
C23C(3) B01J(2) C25B(2)
D01F(2) G01N(2) H01L(2)
IPC C01B032/16(10)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2015(2) 2021(2)
申请年 2014(3)  2018(2) 
专利权人 AIXTRON SE(2)