| 国家/地区 |
台湾(5)
|
| IPC部 |
C(5)
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| IPC大类 |
C01(5)
C23(3)
B82(2)
H01(2) |
| IPC小类 |
C01B(5)
C23C(3)
B82Y(2)
|
| IPC |
C01B032/16(5)
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| 发明人 | JOUVRAY A(2) TEO K B K(2) |
| 公开年 | 2016(2) |
| 申请年 | 2014(3) |
| 专利权人 | AIXTRON SE(2) |
STOWELL M W, SIENKO L, STOWELL W M
CHEN M, WU C, CHUNG M, KOO H
MATHARU J, THOMAS S, TEO K B K, JOUVRAY A, JOUBEUREI A, MATARU J, TOMASEU S
JIANG K, WANG J, FAN S, LIN X, LIU P
RIPPINGTON D E, JOUVRAY A, RUPESINGHE N L, TEO K, TEO K B K, RUPESINGHE N
