国家/地区 |
日本(10)![]() |
IPC部 |
C(10)![]() |
IPC大类 |
C01(10)
B82(6)
H01(5)
C23(3) B01(2) B60(2) C25(2) D01(2) G01(2) |
IPC小类 |
C01B(10)![]() |
IPC |
C01B032/16(10)![]() |
发明人 | JOUVRAY A(2) TEO K B K(2) |
公开年 | 2015(2) 2021(2) |
申请年 | 2014(3) 2018(2) |
专利权人 | AIXTRON SE(2) |
WANG J J, KAN K, GAKU Y, SHA J, TAKESHI S, SEKI K, ABU R
FURUBAYASHI H, MORI M, IKEDA T, KANO S
MATHARU J, THOMAS S, TEO K B K, JOUVRAY A, JOUBEUREI A, MATARU J, TOMASEU S
RIPPINGTON D E, JOUVRAY A, RUPESINGHE N L, TEO K, TEO K B K, RUPESINGHE N
DA SILVA A K, FLEMING E, SHI L, BIELAWSKI C W, RUOFF R S, WEN S, JI H, PETTES M, PAUL A, PAEK E, PAK A J, SELLAN D P, FLAMING E, DA SILVAA A K