国家/地区 美国(16)
IPC部 C(16) B(15) H(10)
IPC大类 C01(16) B82(15) H01(10)
C23(4) C09(3) C25(3)
C30(3) B01(2) B32(2)
C08(2)
IPC小类 C01B(16) B82Y(15) H01L(5)
C23C(4) H01M(4) C09D(3)
C30B(3) H01G(3) B32B(2)
H01B(2)
IPC C01B032/184(16)
发明人
公开年 2013(16)
申请年 2013(8)  2012(5)  2011(3) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)