国家/地区 美国(14)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C01B(14)
IPC C01B032/198(14)
发明人 KADOMA H(2) MOMMA H(2) OGUNI T(2)
SEO S(2) SEO T(2) YAMAKAJI M(2)
公开年 2016(4) 2013(3) 2018(3)
申请年 2016(3)  2017(3)  2013(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(5)