国家/地区 |
中国(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)![]() |
IPC小类 |
C23C(4)
B32B(2)
C01B(2)
H01L(2) |
IPC |
C23C014/00(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(2) |
申请年 | 2020(2) |
专利权人 | EV GROUP THA.(2) |
BURGGRAF J, JUERGEN B
MOKKAPATI V R, POVAZAY B, UHRMANN T, ULLMANN T, MOKKAPATI V R S S, SARMA M V R, THOMAS A
TANG Y, ZHANG J, XU R, LIU D, ZHENG Y, LIU X
HAQUE S, LEHTINIEMI R K, KARKKAINEN A M, LECHNER L, HAKONEN P, HAQUE S M, LEHTINIEMI R, KAERKKAEINEN A