国家/地区 欧洲专利局(EPO)(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C014/06(7)
发明人
公开年 2015(3)
申请年 2014(2) 
专利权人

KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M

HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H