国家/地区 美国(4) 韩国(3) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C014/14(5)
发明人
公开年 2017(2)
申请年 2013(2)  2016(2) 
专利权人