国家/地区 中国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) B82Y(3) C01B(3)
H01L(2)
IPC C23C014/48(5)
发明人 VEERASAMY V(2) VEERASAMY V S(2) ZHANG Y(2)
公开年
申请年 2012(2) 
专利权人 GUARDIAN GLA.(2) GUARDIAN IND.(2)