| 国家/地区 | 中国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(4)
|
| IPC大类 |
C01(4)
|
| IPC小类 |
C01B(4)
|
| IPC |
C23C014/58(4)
|
| 发明人 | |
| 公开年 | 2014(3) |
| 申请年 |
2013(4)
|
| 专利权人 |
ZHAO C, DONG J, DONG X, QIAN X
HUANG C, CHIU S, CHUNG C, WU B, HUANG J, QIU S, ZHONG C, HUANG C H, CHIU S M, CHUNG C J, WU B H
DI Z, CHEN D, DING G, WANG G, XIE X, ZHANG M, YE L, ZHENG X, LU Z
