国家/地区 日本(4) 美国(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 世界知识产权组织(3) 韩国(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/01(5)
发明人
公开年 2017(5)
申请年 2016(4) 
专利权人