| 国家/地区 |
美国(5)
|
| IPC部 |
C(5)
H(3)
B(2)
|
| IPC大类 |
C23(5)
|
| IPC小类 |
C23C(5)
C30B(5)
C01B(4)
H01L(3) |
| IPC |
C23C016/04(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(2) |
| 申请年 | 2020(2) |
| 专利权人 |
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
