国家/地区 韩国(5) 美国(4) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 B01(6)
IPC小类 B01J(6)
IPC C23C016/06(6)
发明人
公开年 2013(2) 2014(2)
申请年 2012(2) 
专利权人