国家/地区 | 韩国(5) 美国(4) 中国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B01(6)![]() |
IPC小类 |
B01J(6)![]() |
IPC |
C23C016/06(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) 2014(2) |
申请年 | 2012(2) |
专利权人 |
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L
AHN J, SHIN H, SONG I, AHN J R, SHIN H C, SONG I K
BYOUNG W J, BYUNG J C, SEOK W J