国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) H01(5) C25(2)
IPC小类 C23C(5) H01L(3) C25D(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人 ZHANG J(5)
公开年 2013(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 UNIV XIDIAN(2)