国家/地区 中国(17)
IPC部 A(17)
IPC大类 C23(17) A61(14) C01(7)
B01(3) B82(3) H01(3)
A41(2) B05(2) B32(2)
C03(2)
IPC小类 C23C(17) A61L(7) C01B(7)
A61B(5) B01D(3) B82Y(3)
A41D(2) B05D(2) B32B(2)
C03C(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(17)
发明人 LIU X(3) CAO T(2) CHOI K(2)
DUAN X(2) HEIGHT M(2) JIA J(2)
LI H(2) LIAN M(2) PARK H(2)
PARK H G(2) SU Y(2) XU Z(2)
YANG Z(2) ZHANG Y(2)
公开年 2021(5) 2017(4) 2018(2) 2022(2)
申请年 2016(4)  2020(4)  2021(3)  2017(2) 
专利权人 HEIQ MATERIA.(2) UNIV DALIAN .(2) UNIV PEKING(2)