国家/地区 美国(4) 世界知识产权组织(4) 英国(3) 台湾(3) 中国(2) 德国(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4) H01L(4) C01B(3)
B82Y(2)
IPC C23C016/26(4)
发明人 THOMAS S(4)
公开年 2021(3)
申请年 2020(3) 
专利权人 PARAGRAF LTD(3)