国家/地区 德国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7) C23C(7) B82Y(6)
H01L(5) B32B(4) H01B(3)
H05K(2)
IPC C23C016/26(7)
发明人 THOMAS S(2)
公开年 2013(4)
申请年 2013(3) 
专利权人 INT BUSINESS.(2)