国家/地区 中国(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C23(12)
IPC小类 C23C(12) C23F(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(12)
发明人 LIU C(12)
公开年 2018(3) 2013(2) 2016(2) 2021(2)
申请年 2016(2)  2018(2)  2019(2) 
专利权人 UNIV SOUTHEA.(3) XIAMEN XICHE.(3) LIAONING ADV.(2) SHENYANG INS.(2)