国家/地区 | 美国(4) 日本(3) 韩国(3) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B01(5)![]() |
IPC小类 |
B01J(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(2) |
申请年 | |
专利权人 |
KIM B J, CHOI J, CHOI J Y, JUN K
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M