| 国家/地区 |
中国(5)
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| IPC部 |
B(5)
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| IPC大类 |
B82(5)
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| IPC小类 |
B82Y(5)
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| IPC |
C23C016/26(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2020(2) |
| 申请年 | 2020(2) |
| 专利权人 |
HOU Y, ZHANG H, YANG Y, ZHANG J, GUO J
FEI G, GAO X, HU Z, WANG M, YI H
