国家/地区 新加坡(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) B82(3) C01(3)
H01(3) C30(2)
IPC小类 C23C(5) B82Y(3) C01B(3)
H01L(3) C30B(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人 OEZYILMAZ B(2) OZYILMAZ B(2)
公开年 2013(4)
申请年 2013(5)
专利权人 UNIV SINGAPO.(3)