| 国家/地区 | 世界知识产权组织(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 美国(3) 韩国(2) |
| IPC部 |
B(4)
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| IPC大类 |
B32(4)
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| IPC小类 |
B32B(4)
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| IPC |
C23C016/26(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2017(3) |
| 申请年 |
2016(4)
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| 专利权人 |
PARK H G, HEIGHT M, CHOI K, PARK H
JOHNSON B Y, LIU X, MAZUMDER P
AOTA NATSUKO, AIDA HIDEO, TACHIBANA MASARU, MORISAKO SHIYO, AOTA N, AIDA H, TACHIBANA M, MORISAKO S
