国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) SINTON S W(2)
SWETT J L(2)
公开年 2013(2) 2017(2)
申请年 2013(2)  2016(2) 
专利权人 LOCKHEED MAR.(2)