国家/地区 世界知识产权组织(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(5) G01N(5)
B82Y(4) C12M(3) H01L(3)
B05D(2)
IPC C23C016/26(6)
发明人 THOMAS S(2)
公开年 2016(2) 2021(2)
申请年 2019(2) 
专利权人