国家/地区 世界知识产权组织(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7) C23(7) H01(4)
B32(2)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/26(7)
发明人 IFUKU R(2) MATSUMOTO T(2) RYOTA I(2)
TAKASHI M(2)
公开年 2020(7)
申请年 2019(6) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(2)