国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)
C23(5)
B32(3)
B82(3) H01(3) G01(2) |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2016(5)![]() |
申请年 | 2014(2) 2015(2) |
专利权人 |
JOHNSON B Y, MAZUMDER P, SONI K K
KIM D, CHOI S, HYEON T, KIM S, CHO H, CHO K, HONG C S, HWAN H T, HYEONG K D, JU K S, RIM C H, WON C G
MATHARU J, THOMAS S, TEO K B K, JOUVRAY A, JOUBEUREI A, MATARU J, TOMASEU S