国家/地区 |
台湾(4)![]() |
IPC部 | C(4) H(4) |
IPC大类 |
C01(4)
C23(4)
H01(4)
|
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2022(2) |
申请年 | 2021(2) |
专利权人 |
APPLIED MATERIALS INC(4)![]() |
KRAUS P A, NGUYEN H, MEBARKI B, WANG C, VALENCIA C, CHUA T C
INGLE N K, MALLICK A B, SINGHA R S, WANG J, ROY S S
VISSER R J, JEONG S, DODABALAPUR A
PADHI D, JANZEN J, SHAIKH S, KIM B, CHIN B, KIM B H