国家/地区 美国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6) B82(5) C01(4)
H01(4) B32(3) B05(2)
IPC小类 C23C(6) B82Y(5) C01B(4)
B32B(3) H01L(3) B05D(2)
B82B(2) H01B(2)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2011(6)
申请年 2010(6)
专利权人

AGO HIROKI, ITO YOSHITO, TANAKA IZUMI, MIZUNO SEIGI, TSUJI MASAHARU, AGO H, ITO Y, TANAKA I, MIZUNO S, TSUJI M, MIZUNO K