国家/地区 中国(4) 美国(4) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10)
IPC小类 C23C(10) C01B(5) H01L(3)
B01J(2) F16H(2) G01N(2)
H01J(2)
IPC C23C016/27(10)
发明人 LI J(2)
公开年 2021(10)
申请年 2020(5)  2021(5) 
专利权人

POLUSHIN N I, MASLOV A L, LAPTEV A I